显示屏制造

显示屏制造要求可整合自动化、真空和水抽除的独特解决方案。 随着基片尺寸不断增大,显示屏制造商需要使用可传递更重负载的自动化装置。 基片尺寸的增大还会导致更高的气和水负载,从而在制造工艺的关键环节对抽气的要求不断提高。 Brooks 提供了一整套自动化处理、真空和水抽除的解决方案,以满足此快速增长的市场需求。

在各种高端应用中,Brooks 在大气和真空基片处理机械手臂和系统领域处于领先地位。 结合无与伦比的技术和强大的知识产权,Brooks 提供了一系列生产效率最大化,同时购置成本最小化的解决方案,以提高制造效率,从而满足当今制造商的需求。

近几年内,显示屏技术在不断地发展,从等离子体和 LCD 进化成 LED 和 OLED。OLED 制造过程在富含氩和/或氮的真空环境下执行,此真空环境必须没有水污染,以防止 OLED 设备因暴露氧而快速老化,最终损坏。 Brooks 提供各种低温泵和水泵,以满足这些制造挑战。我们的真空泵可在工艺沉积设备的多个位置使用,以去除关键位置的水或气体,从而生产出可靠的高分辨率的显示屏。