LED

由于发光二极管 (LED) 制造商和设备制造商在不断追求降低成本的新方法,使用自动化的基片传输、测绘和校正已逐渐成为提高产量、减少占地面积和降低总购置成本的普遍现象。LED 基片传输的自动化过程要求多个不同的基片尺寸、负载和材料类型实现简单、可靠且可预测的性能。  

我们已开发出一套完整的解决方案,可满足 MOCVD、PVD、蚀刻、计量和平版印刷方面的许多要求: 

  • 高负载大气和真空机械手臂
  • 用于接受器和晶圆传输的双端执行器
  • 用于2-8 英寸蓝宝石和硅片的简化的大气输送方案
  • 用于蓝宝石和硅片的优化校准和晶圆映象
  • 可容纳 16 个四英寸晶圆盒且适用于晶圆大小调整的缓冲站
  • 一站式和定制真空和大气系统
  • 低温泵深冷设备解决方案

利用我们在前端半导体处理方面的悠久历史和技术经验,这些产品在快速发展的新型市场中拥有无与伦比的质量、可靠性和可重复性。 Brooks 已准备好采用完整的基片传输解决方案或快速部署组件,以便实现系统集成。  在设计、制造、服务和支持专业技术的整个生命周期内,我们将与您一道采用经市场验证的解决方案。