PFC 水汽深冷机

Brooks Polycold® PFC 水汽深冷机可有效捕获水汽。在高真空系统中,气体负载的 65% 至 95% 通常由水汽组成。它可以在启动后的几分钟内抽除水汽,在不到 4 分钟内除霜,在处理过程中降低水汽的部分压力,从而取得更高的质量,更好的附着力以及多重沉积膜特性。

将 PFC 深冷机添加到真空系统后,可以将抽气的时间缩短 25% 到 75%,并且可将产能提高 20% 甚至是 100%。除此之外,相对液氮制冷的麦纳斯冷却器,PFC 深冷机可表现出更优越的性价比 — 通常投资回报时间只要一年。

PFC 数据表

主要特性

  • -90° 至 -155° C(183 至 118 K)
  • 简易管式冷却部件
  • 真空系统中的水汽低温冷凝速度可达到 220,000 L/sec,真空压强可达 2 x 10-12 托,具体取决于型号和应用。
  • 散热量达 3600W
  • 可充入全球通用的、无毒、非易燃的绿色冷媒
  • 已获得专利的低温制冷工艺和混合制冷剂
  • 各种可用的低温盘管配置