压缩机

Brooks CTI-Cryogenics 提供了专门为 On-Board 低温泵、Cryo-Torr 低温泵和/或 On-Board 水泵获得最佳性能而设计的多种压缩机选择。集成的低温泵电源频率转换器可确保在 50 和 60 Hz 的应用中为所有 Brooks 真空泵获取最大低温泵性能。

IS-2000V数据表

可选型号

  • 8200 压缩机 - 旨在为 On-Board 低温泵、On-Board 水泵和 Cryo-Torr 低温泵提供最佳性能,此压缩机可以支持大小达到 8 英寸口径的所有泵。由于8200压缩机的灵便设计,您可以将该压缩机放置在任何系统操作最方便的地方。
  • 9600 压缩机 - 特别为长使用寿命、高可靠性和便捷使用而设计,此压缩机为所有 Cryo-Torr 低温泵、On-Board 低温泵、On-Board 水泵和 On-Board TurboPlus 真空泵提供杰出性能。9600 同时支持单泵配置和泵组配置,并且与全球已装机的 CTI-Cryogenics 泵均兼容。
  • 9700A 压缩机 - 随着氦输出的增加,9700A 压缩机运行多台低温泵的理想选择。在多台低温泵和水泵应用中,一台 9700A 压缩机可提供单一压缩机解决方案。与多个压缩机应用相比,9700A 压缩机可减少电源消耗、水源输送和占地面积,与 Cryo-Torr® 和 On-Board® 低温泵均兼容。
  • IS-1000 压缩机 - 采用专为 On-Board IS 低温泵设计的智能、高效压缩机技术。IS-1000 Compressor 最多可支持 6 台 On-Board IS-8F 低温泵,而只需要一台9600压缩机占用的空间。
  • IS-2000V 压缩机 - 通过合并更高压力、旋转技术和与SEMI S-23目标相适应的氦气输送量来实现在操作的每个环节中都最大限度地减少能耗。IS-2000V 替换两台 On-Board IS-1000 压缩机。此高容量氦气压缩机旨在支持 On-Board IS 低温泵应用。

集成的低温泵电源频率转换器可确保在 50 和 60 Hz 的应用中为所有 Brooks 真空泵保持最佳低温泵性能。