Cryo-Torr® 低温泵

Brooks CTI-Cryogenics Cryo-Torr 低温泵可以为重要的真空制程应用提供清洁环境、可靠性能、和高抽速。为了增加适用性,您可以根据您特定应用的需要增加您自己定制的控制系统和外围辅助附件。由于它们的运行成本低、维护快速简便,这些低温泵的可靠性非常高,进行检修的次数屈指可数。

Cryo-Torr 低温泵型号

8

>8F

>10

抽速 (l/s)

水汽

4,000

4,000

9,000

空气

1,500

1,500

3,000

2,500

2,200

5,000

1,200

1,200

2,500

容量(标准升)

1,000

1,000

2,000

氢 (5x10-6 Torr)

12

8

24