On-Board® 低温泵

Brooks CTI-Cryogencis On-Board 低温真空泵加速集成和改进的系统操作在可靠性和性能方面已达到世界标准。On-Board 低温泵配有完整的集成控制和外围附件支持,提供了更长的运行时间,从而增加了整体设备的产能和持续性能。

主要特性

  • Fast Regen™ 功能,可在再生间隔期间延长低温泵的性能
  • 可以通过您的低温泵网络实现多台泵的同时再生,从而加速整套系统的再生
  • 嵌入式微处理器控制系统可以提高性能、实现日常诊断并能提供通讯能力
  • 精密的软件和易用的图形用户界面可以显著地改善性能和操作

On-Board 低温泵型号

4F

8

8F

10

10F

250F

400

500

抽速 (l/s)

 

水汽

1,100

4,000

4,000

9,000

9,500

6,500

17,500

30,000

空气

370

1,500

1,500

3,000

 

2,200

6,000

10,000

370

2,500

2,200

5,000

 

3,200

12,000

12,000

310

1,200

1,200

2,500

 

1,800

5,000

8,400

容量(标准升)

 

210

1,000

1,000

2,000

 

1,000

2,500

6,000

氢 (5x10-6 Torr)

3

17

12

24

24

16

42

45

常规再生时间(冷态至冷态)

 

第一级和第二级

75 分钟

2.5 小时

2.5 小时

2.5 小时

2.5 小时

<3.3 小时

3 小时

<3.8 小时

第二级

<1 小时

<1 小时

<1 小时

<1 小时

<1 小时

<1.5 小时

<1.5 小时