低温技术

CTI-Cryogenics 和 Polycold 产品

Brooks Automation 可为半导体、显示、研发和常规真空行业提供涵盖广泛的高性能节能低温产品。其应用包括为半导体制程设备、用于显示和其他真空镀膜设备的快速水汽捕集低温泵、闭环低温制冷系统、用于太空模拟的大规模真空室以及小规模真空和温度控制研发应用建立超高真空环境。

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Brooks Automation 引领着半导体行业
先进的低温泵市场。