工厂自动化解决方案

Brooks Automation 可提供业界最清洁的晶圆分拣器和上料机。Spartan 分拣器具备业界领先的颗粒清洁性能以及高效率和高可维护性;300 毫米 Vision 超清洁上料机具备可靠灵活的机台接口;200 毫米 SMIF 上料机输送 (LPT) 产品是自适应 SMIF 解决方案的行业标准。此外,Brooks 还提供创新性的机台缓冲解决方案,以减少 AMHS 瓶颈并提高机台利用率。

Spartan 450 分类器
IsoPort 上料口