Certon™ 450 上料机

Certon™ 450mm 上料口符合 450mm FOUP、FOSB 和 MAC(多应用载体)标准。独特之处还包括一种正在申请专利的端口门啮合机制,通过该机制可与 Pod 门的关闭同步且一致,并且可达到 390N 的均匀分布力。

使用已申请专利的倾斜即执行功能,单个人员即可进行安装和移除,并且由于质量分布均匀,可轻松进行处理。450 加载端口重量仅为 80kg – 仅为竞争对手加载端口的一半。

标准功能的实施

  • 晶圆扫描,包括 450mm 载体嵌件中的 300mm 晶圆
  • 突起传感
  • 载体存在传感

高度可配置性

  • 软件配置的指示灯
  • 通信 – HSMS、SECS、ASCII(通过 RS232)、ASCII(通过以太网)

易用性

  • 集成了 RFID
  • 可配置浏览器
  • 可以和先前或竞争对手竞争的上料口的协议转换器

较低的拥有成本

  • 无内部校准意味着可加快装配时间
  • 不定期维护

最佳的人体工程学设计

  • 适用于单人维护的“倾斜即执行”
  • 正在申请专利的水平门关闭机制
  • 如需获取有关本产品的更多信息,请与您所在区域销售办事处联系。