Vision™ 上料口模块

Brooks 是全球最大的半导体自动化提供商,LPM 技术的创造者。Brooks 已向遍布全球的每个半导体工厂运送上料端口模块。我们的加载端口模块可提供超净性能以及适用于 FOUP 互操作性的出色上料端口,可满足如今的半导体制造商的严格要求。通过充分利用其他部分处理工具中一应俱全的功能,Brooks 上料端口模块最大限度地降低了成本和复杂性。此外,它们还提供了各种所需的状态和控制接口,以及硬件安全互锁,来帮助确保安全、高效和超净地将晶圆加载到处理工具上,或从处理工具上卸载晶圆。

数据表

Vision™ Load Port 是 Brooks 提供的最新一代加载端口模块。它是一款为工具自动化而设计的智能、灵活的工厂接口模块,可提供出色的可靠性和超净性能。与安装和集成需要大量前置时间的 LPM 不同,Vision Load Port 专门设计用于最大限度地提高互操作性、无缝互换性和易于配置性。它可与手动或通过 AMHS 车传送的所有半兼容前开口晶圆传送盒 (FOUP) 和自动前开口装运箱 (FOSB) 兼容。

随着技术创新和专业知识的扩展已成为 Brooks 广泛安装的 FIXLOAD™ 生产线不可分离的一部分,Vision Load Port 模块可交付具备可制造性和可靠性的最终产品。

主要特性

  • 可在一个通用体系结构中实现 300mm 和 450mm
  • 局部彩色 LCD 接口适用于特定于工厂配置的带触摸按钮
  • 可进行一次性高度和水平调节的运动安装系统
  • 可减少前置时间的行尾可配置选项,包括载体 ID、扫描和 E84
  • 可减少设施需求和提高可靠性的伺服运动控制
  • BOLTS 和 FIXLOAD 兼容性
  • MCBF >500,000 个周期