M2 掩膜版移栽机

Brooks M2 掩膜版移栽机是一个掩膜版更换和检查的系统。独立的 I/O 工作站可以在所有扫描仪/分档器和运输箱(如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 箱等)之间输送掩膜版。

主要特性

  • 全自动掩膜版操作
  • 1 级无尘室/ESD/AMC
  • 掩膜版方向
  • 掩膜版代码识别
  • 料盒的射频标签或条码识别
  • 强光目视检查
  • 嵌入式量测工具
  • N2 吹除