SMIF-INX 分度器

SMIF-INX 产品旨在提供固定 Z 轴晶圆处理器的晶圆上料或提供对 Z 轴晶圆处理器固定计划的晶圆盒定位。基于已安装的超过 15,000 台装置,SMIF-INX 已经证明其多样性、多功能性和可靠性。SMIF 系统污染控制的诸多优势有据可查,并揭示最新一代 INX2200 EP 如何大幅提高晶圆厂的芯片成品率。上料口符合 SEMI E15 和 E19 规格并已经过 CE 认证。

最大的产能和盈利

  • 内部 PTFE-ULPA 过滤系统所维持的环境比 ISO 3 维持的环境更好。
  • SMIF-INX 可直接装载到工艺机台上。
  • 带有定位反馈的直流伺服控制可提供高速晶圆上料,并且对工具周期时间的影响微乎其微,从而可确保 ±0.005" (0.127mm) 的定位精度。
  • 基于激光的专利传感系统提供了精密晶圆和插槽位置、晶圆位置扫描、交叉开槽晶圆检测以及突出晶圆和自动复位传感。
  • 快速断开装置可提供便捷维修。