SMIF 上料口输送 (LPT)

SMIF-LPT (上料口输送)是符合人体工程学设计的 SMIF-I/O,可轻易地与 SMIF-Pod 晶圆盒集成,从而装卸到各种 200 mm 和 150 mm 的晶圆处理和计量工具。SMIF-LPT 是专为真空加载锁工具的自适应和设备制造商应用而设计的,需要外部横向晶圆盒输送机制。

SMIF-LPT 为各种 SMIF 晶圆厂工具提供 SMIF 功能,并通过缩短周期时间和减少占地面积处于行业领先地位。

自适应 SMIF-LPT 解决方案

适用于开放式晶圆盒 200 mm 处理、计量和检测工具的 Brooks 自适应 SMIF-LPT 解决方案提供将非 SMIF 工具到 SMIF 符合成本效益的升级,从而实现现有 200 mm 半导体制造设施在180 nm 以下的技术节点进行转换。三种配置通过复杂的晶圆盒登陆阶段来应对原始设备制造商 (OEM) 工具:

  • SMIF-LPT Tr 是专门为非垂直晶圆盒放置而设计的旋转头
  • SMIF-LPT Tx 提供的横向晶圆盒运动可应对狭窄晶圆盒之间的间距
  • SMIF-LPT Ty 所具有的偏置臂可适应狭窄的腔开口
  • 这些功能也可以在现有 SMIF-LPT 的基础上进行结合或升级。
  • 强大的运动界面可提供快速、准确、可靠的安装和拆卸(铰链和闩锁选项可用于设备制造商集成)。
  • 晶圆传感和复位系统可防止晶圆破损。
  • 晶圆输送完成完成的效果比 1 类微环境更好,可确保最大程度地保护微粒不受污染。
  • 快速载卸循环时间引领行业。
  • 集成 SMART-Tag Auto ID 提供了大量的跟踪和控制。
  • 已安装超过 12,000 个 LPT/LPI 装置。

最大的产能和盈利

  • 强大的运动界面可提供快速、准确、可靠的安装和拆卸(铰链和闩锁选项可用于设备制造商集成)。
  • 晶圆传感和复位系统可防止晶圆破损。
  • 晶圆输送完成完成的效果比 1 类微环境更好,可确保最大程度地保护微粒不受污染。
  • 快速载卸循环时间引领行业。
  • 集成 SMART-Tag Auto ID 提供了大量的跟踪和控制。
  • 已安装超过 12,000 个 LPT/LPI 装置。