VersaPort™ 2200 SMIF-可兼容上料端口

VersaPort 2200 行业最先进的 200mm 标准机械界面 (SMIF) I/O 处理工具具有上料端口开启工具。VersaPort 2200 虽然设计为 200mm 转换为 300mm 的“桥接工具”, 另外还提供了一个适用于开放式晶圆盒进行 SMIF I/O 处理的解决方案。

Platform Mount VersaPort 的设计符合人体工程学,可以轻松地集成用于装卸所有 200mm SMIF-Pods™ 的 SMIF 污染控制技术。VersaPort 也是业界最先进的 200mm BOLTS 标准上料端口开启工具。执行所有 200mm SMIF-Pod 到 300mm 类工具的装卸。

之于这两者,一个复杂的功能集包括基于激光的晶圆盒插槽/晶圆扫描、交叉开槽检测、晶圆突起传感和自动晶圆复位。

最大的产能和盈利

  • 开放式晶圆盒 I/O 处理适用于手开式晶圆盒适配器 (MOCA) 选项。
  • VersaPort 独特的“倾斜即执行”动态界面可以实现快速的一人安装且易于对准。安装后无需调整。
  • SMIF 污染控制技术根据联邦标准 209-E 提供优于 1 类的性能。
  • 基于晶圆检测的先进的激光采用了复杂的功能集,其中包括基于激光的晶圆盒插槽/晶圆扫描、交叉开槽检测、晶圆突起传感和自动晶圆复位。
  • 基于 IR 的反射式传感器提供大量晶圆突起传感,具有检测晶圆超出复位的能力以及紧急停止和制动功能。
  • 包含集成自检诊断,先进的诊断软件可实现简易设计和故障排除。
  • 可编程的水平晶圆盒往复阀选项允许晶圆校准至 300 mm 标准,并提供用于工具端自动化自适应的中心线定位。
  • SEMI 和 CE 合规性可实现低成本所有权。