Spartan™ 分类器

统一的晶圆管理系统提供了 Spartan™ 分类器完成其核心工作所需的最低规模和复杂性 – 尽可能清洁、快速地移动晶圆。Spartan 分类器提供了更高的可靠性和最大化的效率,同时以最低粒子水平提供业界领先的清洁水准。

易于设置和可维修性是 Spartan 分类器的关键属性。该分类器的简单、可扩展架构易于维修和维护。Spartan 分类器完全符合 SEMI 标准,可提供多个选项以支持各种分类应用。

最大的产能和盈利

  • 以优化的一流清洁性微环境为特征,并提供优于 ISO 1 类的性能。
  • 双重、超薄边缘夹取晶圆承载可实现快速交换要求最高的应用程序的时间性能
  • 直线运动的晶圆引擎提供了更简单、更可靠、更简易的设置和故障排除
  • 灵活、可配置的设计和先进的软件支持减少了周期时间,并实现简易集成、可维修性和可维护性。

Spartan 分类器提供业界领先的粒子性能 – 结合低成本所有权,由高可靠性、可维修性和可维护性驱动。Spartan 分类器在大批量制造应用中安装了超过 1200 个系统,是一个久经考验的晶圆处理平台。