AdvanTag 9100 和 9800 系列

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AdvanTag 9100 9800 系列资产跟踪 RFID

AdvanTag 9100 和 9800 系列已由 ATR60LF BNC 读取器系列替代。以下信息仅供参考。

Brooks 的自动识别系统是领先的自动化输送器识别系统,用于自动化半导体晶圆厂。结合了最新的显示器、逻辑和通讯技术,并提供了一个多功能电子运行卡。该系统还提供了用于跟踪、识别和管理晶圆传送盒 (FOUP)、SMIF-Pod、晶圆盒、掩膜版、处理器和探针板的解决方案。

识别标签贴在要跟踪的部件(200mm pod、300mm FOUP、晶圆盒等),且读取器将集成到过程、测量学和材料处理设备中。通过将读取器集成到 SMIF 上料口、存储机 和手动半成品 (WIP) 存储架中,无需纸张 lot traveler 和运行卡。读取器在到达一个工具时将自动与 lot ID 通信。

AdvanTag™(射频识别系统)

AdvanTag 射频识别系统是全自动的数据通信和识别系统,可即时识别晶圆传送盒 (FOUP)、lot、pod、晶圆盒、掩膜版和探针板。系统将使用无需维护的 MicroTag,可永久地附加到晶圆厂资产中,并且可随身携带 - 在工具、自动材料处理系统 (AMHS) 以及储存库中。

SMART-Traveler System 采用了无线通信技术(射频和红外线),可让标记以最小的功耗进行可靠地通信。

最大的产能和盈利

  • 通过自动识别 lot、掩膜版和探针板,消除了错误处理过程并提供了工具的生产率。
  • 通过管理手动和自动 WIP、掩膜版存储,加速了 lots 到工具的放置和传输。
  • 通过可让操作员按需访问 lot/工具指定数据的集成数据显示,提高了操作员的生产率。
  • 降低了系统成本,同时提高了系统的可靠性。
  • 提供了可在大量应用中(手动和自动晶圆厂)使用的灵活自动 ID 系统。
  • 已在世界 100 多个晶圆厂投入使用。
  • 符合所有适用的 SEMI 标准。