Smart Tag Infrared 8200 和 8400 系列

Brooks 的自动识别系统是领先的自动化输送器识别系统,用于自动化半导体晶圆厂。结合了最新的显示器、逻辑和通讯技术,并提供了一个多功能电子运行卡。该系统还提供了用于跟踪、识别和管理晶圆传送盒 (FOUP)、SMIF-Pod、晶圆盒、掩膜版、处理器和探针板的解决方案。

识别标签贴在要跟踪的部件(200mm pod、300mm FOUP、晶圆盒等)上,且读取器将集成到工艺、测量和材料输送设备中。通过将读取器集成到 SMIF 上料机、分拣器和手动半成品 (WIP) 存储架中,便无需纸制批次记录跟踪卡和运行卡。读取器在到达一个机台时将自动与批次记录 ID 通信。

Smart Tag™(红外线 ID)

可以将 SMART Tag 集成到 200mm 和 150mm SMIF 上料口、存储机 I/O 和 WIP 架。在到达一个工具将自动与 lot ID 通信。

SMART-Traveler System 采用了无线通信技术(射频和红外线),可让标记以最小的功耗进行可靠地通信。

最大的产能和盈利

  • 通过自动识别 lot、掩膜版和探针板,消除了错误处理过程并提供了工具的生产率。
  • 通过管理手动和自动 WIP、掩膜版存储,加速了 lots 到工具的放置和传输。
  • 通过可让操作员按需访问 lot/工具指定数据的集成数据显示,提高了操作员的生产率。
  • 降低了系统成本,同时提高了系统的可靠性。
  • 提供了可在大量应用中(手动和自动晶圆厂)使用的灵活自动 ID 系统。
  • 已在世界 100 多个晶圆厂投入使用。
  • 符合所有适用的 SEMI 标准。