视频:450mm 设备前端模块 (EFEM)

450mm 设备前端模块 (EFEM) 显示装置配置了一个 300mm 的上料端口和两个 450mm 的上料端口,表示能够处理两个晶圆大小。晶圆在置于上料端口的 450mm FOUP 中可见。一旦 pod 门打开,大气机械手臂即通过挑选两个晶圆开始传送顺序。EFEM 的内部视图随后将显示校正且后续置于 450mm 真空传输系统真空承载腔室的晶圆。