视频:M2-Nano 真空传输系统群集工具

M2-Nano 真空传输系统是 Brooks Marathon-2 级高产能多腔室平台的最新增加版。该视频显示了 M2-Nano 的真空后端部分(没有必需的 EFEM)。高速真空承载腔室和极其紧凑的传输腔均可见,凭借领先的 MagnaTran-7 真空机械手臂引领着行业。支持框架包括多达三个处理模块的完整设施,并以 CE 合规性安全集线器通信/联锁架构为特征。