半导体污染控制

Brooks Automation 可提供业界最先进的晶圆传送盒料盒/掩膜版 Pod 清洗机以及光罩/掩膜版存储机套件。借助最先进的湿度控制和原位测量技术,我们的产品能够应对所有严重的空气分子污染、生产力以及亚 20 纳米节点的工艺稳定性挑战。

污染控制产品系列手册

M800 300mm FOUP/Pod 清洗机