M1500 半自动掩膜版料盒式存储机

Brooks 半自动 M1500 可在其料盒中存储多达 1,500 个掩膜版。系统会标识掩膜版料盒 ID 并将数据文件记录在数据库中。由此可以优化晶圆厂中对掩膜版的跟踪。

主要特性

  • 高容量 - 占用空间小
  • 快速装载/载卸
  • 直观易用的用户界面