M1990 全自动裸片式掩膜版存储机

Brooks M1990 是一种全自动掩膜版存储机,最多可存储 2,016 个掩膜版。掩膜版在超净再循环净化无尘室中竖直存储于防静电支架上。独立的 I/O 工作站可适应所有类型的掩膜版料盒。

数据表

主要特性

  • 全自动掩膜版取放操作
  • 再循环模式下的 N2/XCDA 吹扫
  • 封闭式温度和湿度控制环境
  • 1 级 ISO 无尘室/ESD/AMC
  • 高容量 - 占用空间最小
  • OHT 接口
  • N2 吹除
  • 嵌入式量测工具
  • 缓冲模块