M1995 全自动隔腔式掩膜版存储机

Brooks M1995 是一种全自动隔腔式掩膜版存储机,可存储多达 2,860 个掩膜版。掩膜版在超净再循环净化无尘室中水平存储于存储舱中。此外,掩膜版存储舱接受净化气体吹扫。独立的 I/O 工作站可容纳所有类型的掩膜版料盒。

数据表

主要特性

  • 全自动掩膜版取放操作
  • 再循环模式下的 N2/XCDA 吹扫可最有效地减少烟雾/晶体生长
  • 封闭式温度和湿度控制环境
  • 1 级 ISO 无尘室/ESD/AMC
  • 吹扫存储舱
  • 占用空间小
  • OHT 接口
  • N2 吹除
  • 嵌入式量测工具
  • 防震舱存储
  • 缓冲模块