M2090 掩膜版移栽机/存储机

Brooks M2090 掩膜版移栽机/存储机是一个掩膜版移栽、检查和存储的系统。I/O 工作站可以在所有扫描仪/分档器和运输盒(如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 箱等)之间输送掩膜版。可选的存储架可以集成在机台内靠后的位置。

主要特性

  • 全自动掩膜版操作
  • 1 级无尘室/ESD/AMC
  • 掩膜版存储
  • 掩膜版方向
  • 掩膜版代码识别
  • 料盒的射频标签或条码识别
  • 强光目视检查
  • 嵌入式量测工具
  • N2 吹除