ZARIS™ 掩膜版自动化系统

来自 Brooks 的 ZARIS 掩膜版自动化系统确实自动化了大量装运和步进晶圆盒中 5” 和 6” 掩膜版的处理。这种行业领先的掩膜版分类器/强光宏观检查/氮清洗系统可防止面具损伤,以及在手工检查处理中尤其容易出现的误处理。通过在适当的方向始终呈现无缺陷的掩膜版,ZARIS 可提高分档器利用率,并减少光刻返回,从而提高了操作效率和最终利润。

凭借经证实的可靠操作和易于使用性,ZARIS 掩膜版自动化系统加速了工厂产能的提升,同时最大限度地减少了掩膜版和薄膜损坏。ZARIS 与 Brooks 光刻自动化系统(包括行业领先的 Guardian 掩膜版存储机)套件相辅相成。

数据表

主要特性

  • 掩膜版分类、强光检测和氮清洗
  • 掩膜版和薄膜识别
  • 防静电材料的使用

可选特性和功能

  • 掩膜版和/或薄膜 ID 的可选字符识别
  • 自动化颗粒检测
  • 薄膜安装
  • GEM/SECS 链接