M2100 200mm 晶圆存储机

Brooks M2100 是一种全自动 200mm 晶圆存储机,可存储多达 2,200 个晶圆。晶圆水平存储在存储舱中并且在专门的区域进行管理,可避免交叉污染。该设备可以让您快速获取每个晶圆,并且可以用作分拣器。

主要特性

  • 全自动晶圆取放操作
  • 1 级无尘室/ESD/AMC
  • 采用 OCR 的晶圆调校
  • 晶圆分拣器功能
  • 自动调校