M2400 300mm 晶圆存储机

Brooks M2400 是一种全自动 300mm 晶圆存储机,可存储多达 1,200 个晶圆。晶圆竖直存储在存储舱中,并且在专门的区域进行管理,可避免交叉污染。该设备可以让您快速获取每个晶圆,并且可以用作分拣器。

主要特性

  • 全自动晶圆取放操作
  • 0.1 级无尘室/ESD/AMC
  • 再循环模式下的 N2/XCDA 吹扫
  • 在塑料成型舱中提供高密度的四分之一间距储存
  • 采用 OCR 的晶圆校准可实现晶圆历史记录管理
  • 晶圆分拣器功能
  • 自动调校