M1000 EUV Pod 清洗机

M1000 全自动 EUV Pod 清洗机可以对EUV 或 RSP200的每一个 部件独立清洗,从而达到最优的清洗效果。

主要特性

  • 高压去离子水喷洒
  • 分别清洗盖和外壳
  • 采用真空净化去除 AMC 化合物  
  • 红外干燥技术
  • 用于载入端口的 N2/XCDA 吹扫
  • OHT 接口
  • 1 级无尘室
  • 符合 SEMI 标准的 SECS/GEM 接口