M300 半自动 FOUP/Pod 清洗机

M300 半自动清洗机是一种通用离心力清洗机,适用于所有类型的晶圆料盒(SMIF、开放式晶圆盒、FOUP、FOSB、RSP 和 Clamshell)。可以实现无与伦比的清洗和干燥效果。

主要特性

  • 掩膜版/晶圆料盒 - 清洗系统
  • 最高的产品灵活性
  • 卓越的红外干燥系统
  • 具有高通量
  • 出色的清洗与冲洗
  • 最低的 CoO