晶圆传输机械手臂

Brooks Automation 可提供全面的业界领先半导体晶圆输送机械手臂,用于扩展的 ISO 1 类洁净室应用。这些机械手臂具备出色的精确度、可重复性、可及性、产量,以及灵活的末端执行器、校正器和负载选件组合,从而使它们成为输送各种大小的晶圆以及薄晶圆或键合晶圆以及专用晶圆料盒的理想选择。