大气 Razor™ 校正器

Brooks 大气机械手臂和模块是半导体材料处理应用程序的工艺设备和群集工具前端中高性能大气晶圆处理解决方案的组成部分。作为技术和性能的领导者,Brooks 提供尖端的机械手臂解决方案,可在加速安装和设置每个工具装运的同时启用新的工具精度级别。利用多代业界领先的自动化标准,Brooks 的大气机器人和模块提供当今先进制造工艺所需的吞吐量、重复性和清洁度的优化组合。

高性能的大气 Razor 晶圆校正器提供了 200mm、300mm 或 450mm 晶圆的超精确晶圆定位。专门为最佳工艺性所设计,Razor 晶圆校正器和其他 Razor 模块提供了极高的品质,并支持产品安装和减少前置时间。和所有 Razor 产品一样,校正器利用 Fusion™ Controls 自动化控制解决方案,使用简单的配置,以满足多种工具的应用需求。

Razor 校正器提供了优越的吞吐量、重复性和清洁度。

主要特性

  • 高达 10 M MCBF 性能的高可靠性
  • 提供适用于具有单片叉解决方案的更高吞吐量的缓冲架
  • 被动边缘触点—非抓握—适用于最大清洁度和晶圆保护
  • 获得专利的运动控制算法和用于减少振动的直接驱动
  • 符合 SEMI 和其他行业标准