Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules

Brooks 大气机械手臂和模块是半导体材料处理应用程序的工艺设备和群集工具前端中高性能大气晶圆处理解决方案的组成部分。作为技术和性能的领导者,Brooks 提供尖端的机械手臂解决方案,可在加速安装和设置每个工具装运的同时启用新的工具精度级别。利用多代业界领先的自动化标准。

数据表 剃刀系列手册

Razor 机械手臂为当今先进的半导体加工操作提供了所需的卓越性能、可靠性和超洁净度。Brooks 运动安装系统、专利动作控制技术和可靠的直接传动机械手,Razor 机械手臂能够使安装更快速、实现高重复性和最大化正常运行时间。此外,Razor 机器人配备了简化、高效的手臂体系结构,使 3-FOUP 无轨机器人带有两个链节(而不是三个),可提供可靠的性能 — 即使在高容量、24 x 7 全天候的生产环境中也不例外。

通过提供以下功能,大气输送机械手臂保持处于最前沿:

  • 专有的运动控制算法 — 时间优化轨迹和时间最优路径 — 优化最大吞吐量的运动轨迹
  • 支持选择晶圆承载技术,其中包括高吞吐量、高洁净度、被动边缘触点解决方案
  • 第五代直接驱动技术,可最大限度地减少零件数量,延长了产品的使用寿命,并大大降低了振动
  • 由 Fusion Controls 提供技术支持,此平台是业界最灵活的,可配置的运动控制解决方案
  • 可选运动学安装系统,可进行一次性高度和水平调节

Brooks 大气机械手臂和模块是半导体材料处理应用程序的工艺设备和群集工具前端中高性能大气晶圆处理解决方案的组成部分。作为技术和性能的领导者,Brooks 提供尖端的机械手臂解决方案,可在加速安装和设置每个工具装运的同时启用新的工具精度级别。利用多代业界领先的自动化标准,Brooks 大气机器人和模块提供当今先进制造工艺所需的吞吐量、重复性和清洁度的优化组合。

利用 Razor Traverser 的高速水平运动,使 Razor 机器人可以访问您工厂内的多个进程工具、负载端口和盒带暂存位置。Razor Traverser 利用 Brooks 专利直接驱动技术,可提供卓越的可靠性和平稳运动控制,以尽可能降低振动和微粒污染。与此同时,它以为与其他高性能 Razor 模块保持同步而设计的高速运行。

和所有 Razor 产品一样,Traverser 利用 Fusion™ Controls 自动化控制解决方案,使用简单的配置,以满足多种工具的应用需求。

主要特性

  • 高达 10 M MCBF 性能的高可靠性
  • 第五代直接驱动技术
  • 获得专利的运动控制算法,以减少振动
  • 用于快速工具配置的预打包模板
  • 符合 SEMI 和其他行业标准