Reliance ATR 机械手臂

Reliance ATR 系列的机械手臂可以为如今先进的半导体生产运维提供久经验证的性能、可靠性和超洁净性。Reliance ATR 机械手臂利用直接驱动技术和基于 DSP 的控制电子装置。

Brooks 大气机械手臂和模块是半导体材料处理应用程序的工艺设备和群集工具前端中高性能大气晶圆处理解决方案的组成部分。作为技术和性能的领导者,Brooks 提供尖端的机械手臂解决方案,可在加速安装和设置每个工具装运的同时启用新的工具精度级别。利用多代业界领先的自动化标准,Brooks 大气机器人和模块提供当今先进制造工艺所需的吞吐量、重复性和清洁度的优化组合。

主要特性

  • 实现高达 12.8M MCBF 的高可靠性性能
  • 直接驱动技术
  • 获得专利的 Time Optimal Trajectory™ 和 Time Optimal Path™ 行动计划在速度上比传统的“S”曲线算法快达 20%。
  • 3 轴或 4 轴选项
  • 支持各种晶圆/基板处理技术,包括高产能、高洁净度,以及晶圆热变形处理。
  • 校正器选项
  • 标准选项或高负载选项
  • 符合 SEMI 和其他行业标准