Yaskawa (YEC) M201 大气机械手臂

Yaskawa (YEC) M201 是高效、快速转换的大气机械手臂,尤其是与线性马达导轨选项组合时。YEC SemiStar 机械手臂产品是半导体行业 EFEM 解决方案的参考标准,属于 Brooks Automation 大气机械手臂投资组合的重要部分。

具备高产能和灵活功能的双手臂

YEC 在运动控制和机械手臂方面有着丰富的经验,并在所有机械机械手臂中使用的电机、编码器和运动控制中利用其专属的 Yaskawa Sigma™ 系列技术。经过几十年的机器人发展和正在运行的数以万计的机械手臂,YEC 根据其世界知名的驱动技术继续加强和改进。这一定型的技术可确保高可靠性,并大大降低拥有成本。

功能与优势

  • 300mm、200mm 和掩模版兼容 - 易于修改不同晶圆尺寸
  • 双臂四轴联动(R1、R2、Theta、Z) - 晶圆快速转换
  • 基于 Yaskawa Sigma 技术的电机 - 高度可靠、经过验证的电机技术
  • 具有整体电池备份功能的绝对编码器 - 快速、可靠的安全定位,无需启动自动引导功能
  • 包括两个轨道长度在内的各种选项 - 非常适于 3 或 4 个装载端口的 EEM 应用
  • 全球支持 - 全球范围内 24 x 7 全天候提供产品支持

M201 是一款高性能的双臂机械手臂,旨在快速转换 300mm 和更小的晶圆。与直线轨道配合使用时,M201 完全符合高通量为 3 和 4 的上料口 EFEM 应用。1010mm 轨道可以达到三个 300mm 的上料口,而旨在达到四个 300mm 上料口的 1515mm 轨道还包括一个驱动器,用于提高电机转速以维持较高的晶圆输送率。如果没有轨道,M201 可以通过径向运动达到一个上料口,通过 Mongoose 运动达到两个上料口。

所有轴的绝对编码器提供了出色的安全性、精确度和可重复性。整体电池备份在启动时允许快速、可靠的安全定位。

用户可以有多种选择来为每个应用配置自动化系统。M201 机械手臂具有真空和边缘夹取应用(具有或不具有光束晶圆映射)的标准解决方案,也支持自定义或客户提供的解决方案。各种晶圆校正器可以完成自动化系统。

M201+ 是 M201 的一种变化形式。它提供了较长的 Z 冲程和较高的有效载荷。M201+ 的有效载荷能力是 M201 的两倍,从而可以完全满足终端受动器的大量要求。