Yaskawa (YEC) MR124 大气机械手臂

Yaskawa (YEC) MR124 大气机械手臂是适用于小型设备前端模块 (EFEM) 的最佳解决方案,尤其在需要进行边缘夹取式承载时。YEC SemiStar 产品是半导体行业 EFEM 解决方案的参考标准,为 Brooks Automation 大气机械手投资组合的重要部分。

更高产能和更大运动范围

YEC 在运动控制和机械手臂方面有着丰富的经验,并在所有机械机械手臂中使用的电机、编码器和运动控制中利用其专属的 Yaskawa Sigma™ 系列技术。经过几十年的机器人发展和正在运行的数以万计的机械手臂,YEC 根据其世界知名的驱动技术继续加强和改进。这一定型的技术可确保高可靠性,并大大降低拥有成本。

功能与优势

  • 300mm、200mm 和掩模版兼容 - 易于修改不同晶圆尺寸
  • 5 轴运动(R、B1、B2、Theta、Z) - 快速进行晶圆交换
  • 基于 Yaskawa Sigma 技术的电机 - 高度可靠、经过验证的电机技术
  • 具有整体电池备份功能的绝对编码器 - 快速、可靠的安全定位,无需启动自动引导功能
  • 包括两个轨道长度在内的各种选项 - 非常适于 3 或 4 个装载端口的 EEM 应用
  • 全球支持 - 全球范围内 24 x 7 全天候提供产品支持

MR124 是单臂双偏航机械手臂,非常适用于需要快速晶圆交换功能的两个上料端口的应用。访问两个 300mm 上料端口的离轴时无需线性轨道。MR124 也可以是为离轴访问在垂直于 EFEM 的方向到达的应用安装的轨道。提供三个或四个上料端口宽度的轨道。

所有轴的绝对编码器提供了出色的安全性、精确度和可重复性。整体电池备份在启动时允许快速、可靠的安全定位。

用户可以有多种选择来为每个应用配置自动化系统。M122 机械手臂具有真空和边缘夹取应用(具有或不具有光束晶圆映射)的标准解决方案,也支持自定义或客户提供的解决方案。用于边缘夹取和真空夹取的晶圆校正器可用于完成自动化系统。某些校正器设计可处理两个晶圆尺寸。