Fusion™ 控件

Brooks 大气机械手臂和模块是半导体材料处理应用程序的工艺设备和群集工具前端中高性能大气晶圆处理解决方案的组成部分。作为技术和性能的领导者,Brooks 提供尖端的机械手臂解决方案,可在加速安装和设置每个工具装运的同时启用新的工具精度级别。利用多代业界领先的自动化标准,Brooks 的大气机器人和模块提供当今先进制造工艺所需的吞吐量、重复性和清洁度的优化组合。

Brooks 创新型 Fusion™ 控件平台是行业最灵活和最完整的自动化控制解决方案。完全可定制且易于使用的 Fusion 控件能够交付最高性能和正常运行时间,同时加快上市时间并保证工具的盈利能力。

主要特性和优势

  • 运动控制专利技术,可以实现无与伦比的精度和性能
  • 可扩展的高速运动控制网络,可以实现各运动轴之间的实时同步​​和协调
  • 高度可配置的软件,可以实现晶圆厂和工具的特定定制和扩展功能
  • 直观的图形界面,可以实现更快、更简单的配置、集成、操作和维护
  • 可视化和仿真功能,甚至可以实现有效的远程故障排除

数据表