InLigner™

Brooks 是生产用于半导体晶圆加工、平板显示器制造以及其他复杂制造的真空处理机器手臂和模块的全球领先者。通过积累可以区分一流产品的无与伦比的知识产权,我们赢得了技术和市场领先地位,并提供了高吞吐量、可靠性和适用性的优势。Brooks 经过现场验证的晶圆传送机器手臂和模块可以交付具有高性能和低总成本的所有权来为当代制造商创建生产效率、加快创新和提高利润。

Brooks InLigner 与 MagnaTran 机械手臂协调,通过缺口或平边基准为 100 到 200 mm SEMI 标准以及 Jeida 标准晶圆提供了晶圆居中和边缘基准定位。特殊配置也可与透明和/或方形基板一起使用,其中包括 6 平方英寸的石英掩模。为了最大限度地利用加工模块的传输腔室,InLigner 会固定在上料平台和传输腔室之间,并允许接近上料平台中的晶圆。

经过现场验证的 InLigner 可交付高度精确的性能和最佳的灵活性。

主要特性

  • 直接与 MagnaTran 7 机器手臂协调,以提供真空外壳内的方向和中心
  • 依照上料平台进行固定,以最大限度地实现加工模块的切面可用性
  • 提供透明和/或方形基板功能
  • 支持 CE/S2 合规性