真空机械手臂 MagnaTran® 产品系列

Brooks Automation 提供业内最先进、最可靠的机械手臂,可在真空和隔离环境中运行。Brooks MagnaTran 机械手臂系列奠定了真空机械手臂自动化的行业标准,可提供无与伦比的清洁度、可重复性和产量。 这些最先进的真空机械手臂专用于在半导体晶圆处理和其他复杂制造环境中实现机台自动化,从而使 OEM 厂商得以将久经考验的可靠性和性能构建到其自动化平台中。