MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) 真空机械手臂

使用真空集束型工具为高通量应用传送机器手臂

MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点,实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。

这一简单设计使用了最少的移动部件。直接电磁离合器驱动不具有动态真空密封,这样便减少了摩擦、磨损、撕裂和转矩,从而减少故障。通过消除步进电机,可以在未接触边缘的情况下减小振动,减少颗粒,实现较高的定位精度。经过现场验证的一体式控制电子装置不仅提供了更小的体积,也提供了对电子干扰的低敏感性,从而产生更高的可靠性。

主要特性

  • 晶圆尺寸承载至 300mm
  • 具有两个末端执行器的专利 BiSymmetrik 手臂
  • 紧凑型直接驱动技术,无动态密封件、传动皮带或电缆
  • 一体式安装,基于 DSP 的控制电子装置
  • 具有专利权的时间最优轨迹
  • 高级固件的本地和远程监控及诊断
  • CE 和 SEMI S2 认证
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特色

  • 与最先进的集束型工具兼容
  • 具有高通量
  • 占用空间小
  • VHV 兼容性
  • 较低的拥有成本
  • 最快的运行速度
  • 全球适用性
  • 较快地从功率损耗恢复

超高通量可以通过时间最优轨迹™ 算法的使用来实现,该算法可使输送速度比 S 曲线剖面快 15-30%。持续转动性能排除了运动 180 度以上和直驱式伺服的需要,通过 Brooks 的专有 DSP 控制器可以最大限度地减小振动。MAG 7 B 机器人的 BiSymmetrik 专利手臂可以实现晶圆交换和缓冲。

PASIV™ 用户可编程安全区可防止手动操作期间可能发生的碰撞,从而确保高价值晶圆和工艺设备的安全。 通过远程的、调制解调器连接的服务终端上的图形用户界面可以完成全面诊断。 先前事件的错误日志带有时间和日期戳。循环计数器位于非易失性存储器中,并以图形方式对关键的性能特征进行监测。多传感器接口连接通过允许接口直接连接到基板传感器和其他外设模块(如阀门)的高速数字 PIO 完成。