MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 真空机械手臂

使用真空集束型工具应用于最高通量的双臂同侧晶圆传送机械手臂

MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 机械手臂保留了 MagnaTran 产品系列的所有特征和优点,同时在要求严格的多腔室机台应用中具备最高的产量。

超高通量可以通过 Time Optimal Trajectory™ 算法的使用来实现。持续转动性能排除了运动 180 度以上的需要。直驱式伺服和专有 DSP 控制器可以最大限度地减少振动。具有专利权的 Leapfrog® 手臂可以同时实现晶圆交换和缓冲。

主要特性

  • 最高通量 MagnaTran 7 机械手臂
  • 晶圆尺寸承载至 300mm
  • 紧凑型直接驱动技术,无动态密封件、传动皮带或电缆
  • 经过验证 MCBF 超过 1100 万次的可靠性
  • 一体式安装,基于 DSP 的控制电子装置
  • 高级固件的本地和远程监控及诊断
  • CE 和 SEMI S2 认证
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特色

  • 与最先进的集束型工具兼容。
  • 具有较高通量。
  • VHV 兼容性。
  • 较低的拥有成本。
  • 最快的运行速度。
  • 全球适用性。
  • 较安全地从功率损耗恢复。

领先的 MagnaTran 技术以直接电磁离合器驱动为特征。较低的摩擦、磨损、撕裂和扭矩可以减少故障。振动次数和颗粒数量也保持在最低。这样的设计有利于提高定位精度,无需接触边缘。如果不使用唇形密封或铁磁流体密封,将产生更好的真空性能,同时更好地沉积 PVD 薄膜,并使得传送管中没有水。一体式控制电子装置占据了较少的空间,它降低了对电子干扰的敏感性,包装体积更小,可靠性更高。

通过调制解调器连接的远程服务终端上的图形界面可以监控整个诊断过程。视图跟踪实用程序可以监控终端执行器的实际设定加速度。先前事件的错误日志带有时间和日期戳。周期计数器在非易失性存储器中运行。总之,对关键性能特征实施的图形监控是可能的。

多传感器接口连接通过高速数字 IO 允许接口直接连接到基板传感器和其他外设模块(如阀门)。实时信息允许通过运动组件的边缘检测来进行位置引用。用户指定的径向位置中的动态检测可以实现 Leapfrog 手臂上的单独晶圆检测。PASIV™ 安全装置(可编程访问安全共享卷)可提供用户可编程访问区来防止手动操作期间可能发生的碰撞,从而高度确保有价值晶圆和加工设备的安全。