MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) 真空机械手臂

晶圆输送真空机械手臂应用需要较高的达到密封比

MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点,实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。

这一简单设计使用了最少的移动部件。其直接电磁离合器驱动不具有动态真空密封,这样便减少了摩擦和磨损,从而减少故障。通过消除步进电机,可以在未接触边缘的情况下减少振动和颗粒,并实现较高的重复定位精度。经过现场验证的一体式控制电子装置不仅占据了更小的体积,也降低了对电子干扰的敏感度,从而产生更高的可靠性。

主要特性

  • 承载的晶圆尺寸从300mm到非标的衬底
  • 紧凑型直接驱动技术,无动态密封件、传动皮带或电缆
  • 经过验证 MCBF 超过 1100 万次的可靠性
  • 一体式安装,基于 DSP 的控制电子装置
  • 具有专利权的 Time Optimal Trajectory
  • Workspace 用户可编程的机械手臂访问区
  • 高级硬件的本地和远程监控及诊断
  • 单个或双个终端执行器配置
  • CE 和 SEMI S2 认证
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特色

  • 与最先进的集束型工具兼容。
  • 高达到密封比
  • 较低的拥有成本
  • VHV 兼容性
  • 晶圆和设备安全
  • 全球适用性
  • 促进已增加产能的升级

高通量可以通过 Time Optimal Trajectory™ 算法来实现,该算法可使输送速度比 S 曲线剖面快 15-30%。持续转动性能排除了运动 180 度以上和直驱式伺服的需要,通过 Brooks 的专有 DSP 控制器可以最大限度地减少振动。

Workspace 用户可编程访问区可防止手动操作期间可能发生的碰撞,从而确保高价值晶圆和加工设备的安全。通过调制解调器连接的远程服务终端上的图形界面可以完成全面诊断。先前事件的错误日志带有时间和日期戳。循环计数器位于非易失性存储器中,并以图形方式对关键的性能特征进行监控。多传感器接口连接通过高速数字 PIO 完成,它允许接口直接连接到基板传感器和其他外设模块(如阀门)。实时信息允许通过运动组件的边缘检测来进行位置引用。为了安全起见,可能在宏序列中引用晶圆。