MagnaTran® 8 QuadraFly 真空机械手臂

在高吞吐量、狭小密闭的应用程序中启用四个真空晶圆的并发交换

MagnaTran® 8 QuadraFly 真空机械手臂利用成熟的 SCARA 机械手臂技术和可靠的直接驱动机械手在狭小的密闭回转直径中提供四个真空晶圆的同步交换。此外, QuadraFly 机械手臂将 MagnaTran® 8 领域成熟的直接驱动技术优势扩展为有专利权的三轴传动驱动器。三轴传动驱动器和 QuadraFly Butterfly 臂组旨在适应更大的有效载荷。

直接磁力驱动技术可减少部件数量,并且无需通过动态密封进行真空隔离,从而提高了可靠性。无需动态密封可减少摩擦、磨损、撕裂和转矩,从而减少故障。无需步进电机和/或传输耦合机制,减少了振动、微粒、齿隙,并且增加了位置重复精度。

主要特性

  • 四个真空晶圆的四个末端器进行并发传输
  • 高容量直接驱动技术,无动态密封件、同步带或电缆
  • 久经考验的可靠性 > 1280 万 MCBF
  • 有专利权的时间最优的轨迹运动控制
  • 可在距离驱动器 15' 以外进行外部控制
  • 用户可编程的机械手臂访问区
  • CE 和 SEMI S2 一致
  • 450 毫米就绪
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特色

  • 允许每小时更高的产量和工具生产力晶圆
  • 高载荷能力
  • 较低的拥有成本
  • UHV 兼容性
  • 晶圆和设备安全
  • 全球适用性
  • 符合国际设计和行业安全标准

QuadraFly 机械手臂快速交换臂组、时间最优轨迹™连续旋转和直接驱动伺服系统与 Brooks 专有 DSP 控制器相结合,以提供更高的产量并提高生产率。

用户可编程安全区可防止手动操作时可能发生的碰撞,从而确保高价值晶圆和工艺设备的安全。通过远程的、调制解调器连接的服务终端上的图形用户界面完成全面诊断。事件错误日志带有时间和日期戳。循环计数器存储在非易失性存储器中,并以图形方式对关键的性能特征进行监测和报告。通过高速数字 IO 完成多传感器接口连接,允许接口直接连接到外设模块(如基板传感器和阀门)和其他外设模块(如阀门)。实时信息允许通过运动组件的边缘检测来进行位置引用。为了安全起见,可能在宏序列中引用晶圆。