MagnaTran® 8 Radius 真空机械手臂

适用于高载荷狭小密闭应用程序的晶圆快速交换真空机械手臂

双臂 MagnaTran® 8 Radius™ 机械手臂将 MagnaTran® 8 领域成熟的直接驱动技术的优势扩展到三轴传动驱动器。此外,MagnaTran 利用成熟的 SCARA 机械手臂技术在狭小的密闭直径中提供低于 4 秒的快速交换。三轴传动驱动器和机械手臂旨在适应更大的有效载荷。

直接磁力驱动技术可减少部件数量,并且无需通过动态密封进行真空隔离,从而提高了可靠性。无需动态密封可减少摩擦、磨损、撕裂和转矩,从而减少故障。无需步进电机和/或传输耦合机制,减少了振动、微粒、齿隙,并且增加了位置重复精度。

快速交换机械手臂、时间最优轨迹™连续旋转和直接驱动伺服与 Brooks 专有 DSP 控制器相结合,以提供更高的吞吐量。

主要特性

  • 高容量直接驱动技术,无动态密封件、传动皮带或电缆
  • 久经考验 >1280 万 MCBF 的可靠性
  • 在距驱动器达 15 英尺处的远程密闭空间进行控制
  • 有专利权的时间最优轨迹
  • 用户可编程的机械手臂接入区
  • CE 和 SEMI S2 认证
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特色

  • 高达到密封比
  • 快速交换
  • 高载荷能力
  • 较低的拥有成本
  • UHV 兼容性
  • 晶圆和设备安全
  • 全球服务点
  • 符合国际设计和行业安全标准

用户可编程安全区可防止手动操作时可能发生的碰撞,从而确保高价值晶圆和工艺设备的安全。通过远程的、调制解调器连接的服务终端上的图形用户界面完成全面诊断。先前的事件错误日志带有时间和日期戳。

循环计数器存储在非易失性存储器中,并以图形方式对关键的性能特征进行监测和报告。通过高速 PIO 完成多传感器接口连接,允许接口直接连接到基板传感器和其他外设模块,如阀门。实时信息允许通过运动组件的边缘检测来进行位置引用。为了安全起见,可能在宏序列中引用晶圆。