晶圆传输系统

Brooks Automation 提供可配置大气和真空晶圆输送的平台和系统的全面组合。此外,Brooks 支持创建灵活、经济、独特的解决方案,可满足每一位客户的特定应用。我们的资深专家专职团队采用的是一种久经验证的协作方法:聆听客户的需求和挑战、评估我们的模块库,并且在必要时开发定制功能,从而为 OEM 机台自动化提供最合适的晶圆输运解决方案。