Spartan™ 450mm 开发平台 (Spartan 450-DP)

新的 Spartan™ 450mm 开发平台为市场带来了独特的、占用空间小且低成本的系统,可让原始设备制造商 (OEM) 将晶圆可靠地送进和送出处理室。此简单 FOUP EFEM 无需在平台开发上花费工程时间,从而加速了 OEM 450mm 平台开发。这种高度可扩展的平台使 OEM 厂商能够轻松地迁移到大批量生产,而不更改软件和硬件接口。

主要特性

  • 将经过生产验证的 300mm 组件与 450mm Certon™ 上料口相结合
  • 规模最大的 Spartan™ EFEM 晶圆发动机集成上料口
  • 可选的预校正器
spacer10

占用空间小

  • 宽度: 1.4m
    深度:1.4m