Spartan™ 大气输送系统 EFEM

传统的箱形设备前端模块 (EFEM) 是通过对多个现成组件进行劳动力和时间高度密集型集成产生的, 包括大气晶圆处理机械手、上料口、晶圆和自动识别、小型环境和形成复杂工具前端的控制软件。不可避免的是,这会导致在互操作性、故障检测和处理以及供应商问责方面频频出现问题。

意识到这些复杂性和挑战后,Brooks 通过其 Spartan™ EFEM 为设备制造商和芯片制造商提供了高性能大气设备前端解决方案。Spartan EFEM 凭借其简单统一化的设计提供了更高的吞吐量、更高的粒子效能、最佳的净化室空间和低拥有成本 (COO)。

Spartan EFEM 优势

  • 简单的设计,成熟的技术,从而提高吞吐量和可靠性
  • 优于 ISO 的 1 级粒子效能
  • 一体化设计,易于设置和安装,加速工具鉴定
  • 前安装访问,维护快捷方便

Spartan EFEM 以其高吞吐量 300 毫米前端自动化解决方案成为行业领导者。从一开始,Spartan EFEM 的模块化设计就提供了灵活性,以适应各种独特的 OEM 应用程序。

Spartan EFEM 的核心在于其中心数据结构,在其中可以参考所有晶圆处理组件和运动。这种单一的参考标准使校正和设置更简单,最多可扩展到四个上料口配置。由于完全符合 SEMI 标准,Spartan EFEM 可支持一系列的应用程序,简化了维护过程并减少了拥有成本。

最大的产能和盈利

  • 以优化的一流清洁性微环境为特征,并提供优于 ISO 1 类的性能。
  • 双手臂,超薄边缘抓取晶圆承载满足了最苛刻的应用程序对快速交换性能的要求。
  • 灵活、可配置的设计和先进的软件支持,从而更易于进行集成、维修和维护。

Spartan EFEM 更小、更轻、更简单、更可靠,更易于与 300mm 自动晶圆厂进行集成,并且比其他的任何同等功能的系统更节能。凭借其业界领先的粒子效能,再加上其高可靠性、适用性和可维护性降低了拥有成本,Spartan EFEM 成为了 Crossing Automation 认可的当今市场上最强大的 EFEM。