Marathon™ 2 输送系统

Brooks 在整个衬底输送和控制环境中积累的无与伦比的工程能力和创新使我们的解决方案成为当之无愧的一流解决方案,这也奠定了其在真空输送系统中的领导地位。先进的真空晶圆传输技术最适合半导体晶圆处理和其他复杂制造环境中的工具自动化应用。我们提供了各种系统—适合从 100mm 到 450mm 晶圆传输的大量配置—满足特殊的制造环境和过程条件。

Marathon 2 系列是 Brooks 推出的集成式模块化真空输送系统 (VTS),它将性能和便携性均提高到了一个全新的高度。Marathon 2 系统是专为 300mm 和 450mm 晶圆制造设计的,它将 MagnaTran 机器机械手臂久经验证的可靠性与集群工具技术中的最新创新集于一体,旨在优化 OEM 的可靠性和性能,同时为最终用户降低总拥有成本。

主要特性

  • 10M+ MCBF MagnaTran Radius 机械手臂
  • Speed Lock™ 高吞吐量堆栈上料平台
  • CenterSmart™ 自动晶圆居中
  • 第五代电力和通信系统
  • 内置硬件和安全互锁
  • 用于视觉晶圆监测的 Insight™ 透明传送盖
  • 符合 CE、S2 及所有其他有关的行业标准