Marathon™ Express 真空输送系统

Brooks 在整个衬底输送和控制环境中积累的无与伦比的工程能力和创新使我们的解决方案成为当之无愧的一流解决方案,这也奠定了其在真空输送系统中的领导地位。先进的真空晶圆传输技术最适合半导体晶圆处理和其他复杂制造环境中的工具自动化应用。我们提供了各种系统—适合从 100mm 到 450mm 晶圆传输的大量配置—满足特殊的制造环境和过程条件。

Marathon™ Express 是针对先进的真空效能和 100mm、125mm、150mm 和 200mm 大小晶圆应用的高产量而优化的模组化、可配置的真空输送系统 (VTS)。由于其模块化的架构并能在 4、6、7 和 8 双面版本中使用,因此可以定制 Marathon Express 以满足广泛的工艺应用的不同需求。

这种高性能的真空输送系统非常适合于 PVD、CVD、Etch、MR Head Deposition、MEMS 以及复合半导体应用。

主要特性

  • 可在 100 到 200mm 大小的晶圆中进行重新配置,且硬件变化最小
  • 10M+ MCBF MagnaTran Radius 机械手臂
  • 经过现场验证的、适用于 25 或 26 晶圆盒的索引真空上料平台,并包含四个出厂接口选项
  • 从 3 托到 8 托基底压力的现成真空配置
  • 第五代电力和通信系统
  • 内置硬件和安全互锁
  • 符合 CE、S2 及所有其他有关的行业标准