VCE 上料平台

Brooks 是生产用于半导体晶圆加工、平板显示器制造以及其他复杂制造的真空处理机器手臂和模块的全球领先者。通过积累可以区分一流产品的无与伦比的知识产权,我们赢得了技术和市场领先地位,并提供了高吞吐量、可靠性和适用性的优势。Brooks 经过现场验证的晶圆传送机器手臂和模块可以交付具有高性能和低总成本的所有权来为当代制造商创建生产效率、加快创新和提高利润。

通过 Brooks VCE 6 真空晶圆盒升降平台上料平台,AGV、RGV 或操作人员可以安全干净地输送高达 200mm 的 SEMI 标准晶圆盒。有以下三种样式:

  • 具有晶圆盒输送臂的晶圆盒大气缓冲载料台
  • 符合人体工程学的倾斜平台和晶圆盒导轨
  • 晶圆盒输送臂平台

VCE 6 真空晶圆盒升降平台上料平台提供了经济有效且先进的工厂接口,符合特定的晶圆制造环境。它是为超清洁且可靠运行设计的,环境规模从 10-6 高真空到略高于大气压力不等。

主要特性

  • 自动化驱动门
  • 独立的驱动机制
  • 为干净室内墙壁所配置的盒子
  • 完整的智能感知能力(包括晶圆盒中的晶圆位置、晶圆盒中凸出的晶圆和平台上的晶圆盒)
  • 符合 CE/S2