CTI-Cryogenics Cryo-Torr® 低温泵

维修-翻新服务

Brooks CTI-Cryogenics CryoTorr 低温泵

Brooks CTI-Cryogenics Cryo-Torr 低温泵可以为重要的真空工艺应用提供清洁环境、可靠性能、高抽速。为增加灵活性,您可以添加自己的定制控制及支持的外围设备,以满足您特定的应用需求。这些低温泵操作成本低,维护起来快速方便,凭借您可以信赖的响应服务,可以实现高可靠性和基本性能。

Brooks 的优势

  • 各种 CTI-Cryogenics 低温泵和压缩机的“全球一站式”体验
  • 原始设备制造商:产品技术专家和设计工程师
  • 可在所有主要的半导体晶圆厂所在的区域提供维修服务
  • 所有维修类型均提供一年全面质保
  • 维修类别:
  • 固定备件交换适用于所有区域
  • 维修新增了产品升级和 CIP服务
  • ISO 认证的维修仅使用 Brooks 部件
  • 统一全球维修作业流程以保持质量和性能的一致性
  • 所有产品的准备时间都是固定的,与服务类别无关
  • 特定的维修协议可用于所有机械手臂

Cryo-Torr 低温泵维修-翻新选项

服务类别 型号 交货时间
翻新 包括所有的在用型号:CryoTorr 4、8、10、100、250、400、500 3-4 周
高级交换 包括大多数在用型号。* 5-7 个工作日
1 天快速响应交换 包括大多数在用型号。* 下一个工作日

* 如需了解可用性, 与我们联系。

Brooks 认证的维修是客户的正确选择,可提供高质量的专业服务。这些维修旨在优化老化产品的性能,并为所有低温需求获取最佳寿命。

Cryo-Torr 低温泵维修特色

  • 可提供性能升级选项
  • 高级评估诊断工具
  • 自动化测试套件
  • 坚持完全复制
  • 深层故障分析选项

前瞻性协议

对于大量装机的客户,服务协议可以与增强的预防性维护或包括交换的翻新服务一起提供。这些协议提供随时可用的备件以支持运行时间要求。该计划可帮助客户主动管理设备维护,以便减少意外停机时间,同时固定的价格有利于您申请预算或预估维护费用。